Einwendungen aus dem materiellen Recht sind im Kostenfestsetzungsverfahren nur ausnahmsweise aus prozessökonomischen Gründen möglich, wenn die dem Einwand zugrunde liegenden Tatsachen feststehen und auch hinsichtlich der rechtlichen Beurteilung keine Zweifel bestehen. Daher ist die Einrede der Masseunzulänglichkeit im Kostenfestsetzungsverfahren nicht zu berücksichtigen.